0511 マイクロソリッドジェットによる超高熱流束冷却と新型半導体レジストはく離システムの開発(OS5-2 機能性流体工学の新展開,オーガナイズドセッション)
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概要
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The ultra-high heat flux characteristics and rapid cooling effect of the micro-solid nitrogen (SN_2) spray flow through a two-fluid nozzle to the heated plate was numerically investigated and measured by a new type of integrated simulation technique. Furthermore, PIA mesurement has been applied to clarify the solid-particle diameter profiles of the micro-solid spray, and the wafer resist removal characteristics by thermo-mechanical effect was investigated. Based on the integrated numerical and experimental study, a new type of ultra-high heat flux cryogenic cooling system and the thermomechanical resist removal-cleaning system using cryogenic micro-solid spray was developed.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-10-29
著者
-
石本 淳
東北大学流体科学研究所
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石本 淳
東北大流体研
-
石本 淳
東北大学流体研
-
石本 淳
弘前大学
-
Ishimoto Jun
Institute Of Fluid Science Tohoku University
-
丹 大輔
東北大院
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