超音速フリージェットPVDによる膜の特性に及ぼす超音速ノズル長さの影響
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概要
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Supersonic Free Jet Physical Vapor Deposition (SFJ-PVD) is a new coating method in which a coating film is formed by depositing nanoparticles, carried by supersonic inert gas flow. One of the most important technologies of the method for obtaining high quality coating film is a supersonic nozzle (a de Laval nozzle) for accelerating inert gas velocity to supersonic. In this study, we investigated the effect of the nozzle length on the quality of aluminum film formed with SFJ-PVD by observing the section of coated substrates and three-point bending test. In conclusion, we obtained the appropriate length of the nozzle for obtaining high quality film and interface between the film and the base metal.
- 2011-10-30
著者
-
丹羽 直毅
機械システム工学科教授
-
湯本 敦史
芝浦工業大学材料工学科
-
丹羽 直毅
工学院大学
-
丹羽 直毅
工学院大 工
-
廣木 富士男
工学院大 工
-
小林 光男
工学院大学
-
小林 光男
工学院大学工学部
-
廣木 富士男
工学院大学
-
廣木 富士男
工学院大学工学部
-
古山 慶
工学院大 工
-
丹羽 直毅
工学院大
-
古山 慶
工学院大学機械工学専攻学生
-
湯本 敦史
芝浦工業大学
-
小林 光男
工学院大学工学部機械システム工学科教授
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