PIGプラズマCVD法によるDLCコーティング技術(研究技術ノート)
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概要
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ダイヤモンド結合とグラファイト結合を併せ持つDLC(Diamond Like Carbon)膜は,高硬度・高耐摩耗・低摩擦・低い相手攻撃性・耐焼きつき性・高絶縁性・赤外透過性・高ガスバリア性・生体適合性などの優れた特長を兼ね備えている.DLCコーティングはプラズマ・イオンを利用したPVD法とCVD法が用いられている.我々は低エネルギーで大電流イオンが容易に得られるPIG(Penning Ionization Gauge)タイプのプラズマガンを独自開発し,これをCVD装置に採用し,PIGプラズマCVD装置として商品化してきた.本稿では装置の特長と得られたDLC膜のトライボロジー特性について報告する.
- 2011-08-25
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