寺山 暢之 | 神港精機株式会社

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概要

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• 寺山 暢之

  神港精機株式会社

• 中曽根 正美

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• 野間 正男

  神港精機

• 野間 正男

  神港精機(株)

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• 寺山 暢之

  神港精機株式会社装置事業部真空装置技術部開発課

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著作論文

• パルスバイアスを付加したイオンプレーティングによるアルミナ膜の作製
• 熱陰極ペニング放電型プラズマ化学気相成長法によるダイヤモンド状炭素膜の作製
• 蒸発粒子の低電圧放電特性とクロム膜の作製
• イオンプレ-ティングの応用 (第24回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
• 蒸発粒子の低電圧放電特性とクロム膜の作製
• イオンプレーティングの応用
• PIGプラズマCVD法によるDLCコーティング技術(研究技術ノート)

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