沿面放電素子の特性評価とその劣化診断法の開発
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概要
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マイカシートを誘電体としその両面に高圧電極,誘導電極を持つ構造のマイクロディスチャージ沿面放電素子は半導体製造工程で必須とされる除電機の新型素子として期待されている.この素子の特性評価と改良を行なった.SEM/EDXによる表面観察により,素子製造工程のエッチング法を改良し,従来品より5倍ほど素子の長寿命化が達成された.複素インピーダンス測定では複合素子の電気特性評価可能性を示唆した.更に,素子の長寿命化を図るため電極微細構造の改良を行い,充分な放出イオン量を確保して放電開始電圧の低減が可能となった.
- 2010-08-30
著者
-
西澤 理
北九州高専物質化学工学専攻
-
中村 裕之
北九州高専総合科学科
-
山田 憲二
北九州高専物質化学工学科
-
小畑 賢次
北九州高専物質化学工学科
-
中村 宏之
九大理
-
松嶋 茂憲
北九州高専
-
松嶋 茂憲
北九州工高専
-
中村 裕之
北九州工業高等専門学校
-
Yamada Kenji
Department Of Cell Biology National Institute For Basic Biology
-
Yamada Kenji
Research And Development Center Sumitomo Light Metal Ind. Ltd.
-
Nakamura Hiroyuki
Department Of Integrated Arts And Science Kitakyushu National College Of Technology
-
山田 憲二
Department Of Cell Biology National Institute For Basic Biology
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