116 回折光を用いた非接触微小変位計測
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概要
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A non-contact micro-nano displacement system using interfere metric phenomena is proposed. This system vertically irradiates the laser light to two grating pairs with grating difference of 1/4 cycles. The relative displacement between gratings can be calculated from moire signal intensities detected by photodetectors. The results indicated that the resolution of displacement sensing mainly depends on the pitch of grating. And resolution of lOnm at 50μm pitch of grating is obtained in present system.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-08-03
著者
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