C-6-1 不均質な半導体のvan der Pauw測定における測定値変動の予測とその抑制に関する試み(C-6.電子部品・材料,一般セッション)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2009-09-01

著者

• 松村 透

  秋田大学大学院工学資源学研究科

• 佐藤 祐一

  秋田大学大学院工学資源学研究科

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