同時計測法で探る多価イオン励起固体表面からの二次イオン放出(最近の研究から)
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概要
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多価イオンが固体表面に接近すると,表面から多価イオンへの電子の移行と,これに起因する二次粒子放出,すなわちポテンシャルスパッタリングが起こると考えられているが,その詳細はよく分かっていない.本研究では,その原子過程を詳細に調べるため,表面で反射した散乱イオンと,表面から放出された二次イオンの同時計測を行った.その結果,イオン散乱過程と電子遷移誘起脱離の関係が手に取るように分かり,ポテンシャルスパッタリングの詳細が明らかになってきた.
- 2010-08-05
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