大面積薄膜シリコン太陽電池の一貫製造ラインについて(<特集>太陽電池材料の結晶工学:結晶成長を中心に)

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概要

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• 世界に目を向けると,太陽電池の主要用途は,単位発電量あたりのコストが重視される大規模な太陽光発電所向けであり,大面積薄膜シリコンパネルが採用される機会が多くなっている.エリコンソーラー社においては,高効率・高品位なパネルを低コストで生産するためのノウハウが集約された「大面積薄膜シリコン太陽電池の一貫製造ライン」を提供している.今回は,そのキーテクノロジーであるシリコン薄膜の成膜技術と透明電極形成技術を中心に紹介し,エリコンソーラー社の高い技術力とそれに支えられた一貫製造ラインの魅力について述べる.

著者

• 石田 大

  東京エレクトロン(株)PVE BUエリコンシステム部

• 梅下 尚己

  東京エレクトロンFE(株)PVE BUエリコンシステムFE部

• 菅原 卓也

  東京エレクトロンFE(株)PVE BUエリコンシステムFE部

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