引上げ半導体結晶中の不純物濃度分布解析

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 静岡大学の論文

著者

• 斉藤 幸夫

  静岡大学電子工学研究所

• 杉本 祐司

  静岡大学電子工学研究所

関連論文

• CZ結晶における不純物濃度分布の数値解析
• 有限要素法による二次元拡散方程式の数値解析法(第二報)
• 引上げ半導体結晶中の不純物濃度分布解析

スポンサーリンク