7.プラズマCVDによる高速製膜技術を用いた微結晶Si太陽電池の高効率化(<小特集>次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)
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概要
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現在,急増している太陽電池需要に対応すべく,薄膜Si太陽電池の生産性改善が急務である.高生産性を得るための製膜に関する技術的手法としては,1)製膜速度の高速化,2)製膜面積の大面積化,および3)同時製膜基板の複数枚化がある.本章では,生産性の改善を特に必要とする微結晶Si太陽電池に関して,高速製膜技術の開発と高速製膜微結晶Si太陽電池の高効率化に関して概説する.
- 2010-01-25
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