プラズマを用いたアモルファス・微結晶シリコン成膜の表面反応と膜成長過程

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2010-03-10

著者

• 外山 利彦

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 外山 利彦

  大阪大学大学院 基礎工学研究科

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