5.表面微小凹凸構造による高効率多結晶シリコン太陽電池(<小特集>次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)
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概要
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太陽電池の高効率化には,セル表面での反射率低減による太陽光の取り込み促進が重要である.そのため,一般的にはセル表面に形成した微小凹凸(テクスチャー)構造と反射防止膜との組み合わせが用いられ,様々なプロセスが考案され実用化されている.ここでは,多結晶シリコン太陽電池において微小凹凸構造により特に顕著な高効率化を達成している一例として,反応性イオンエッチングによるものと高度なウェットエッチングを用いたハニカムテクスチャーと呼ばれる構造について紹介する.
- 2009-12-25
著者
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松野 繁
三菱電機株式会社先端技術総合研究所金属・セラミックス技術部
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松野 繁
三菱電機株式会社先端技術総合研究所エネルギーデバイス技術部
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松野 繁
二菱電機(株)先端技術総合研究所エネルギーデバイス技術部
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