固体ターゲットを備えたプラズマフォーカス電極によるEUV発生
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概要
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本研究では,Mather型プラズマフォーカス装置により水素プラズマを発生させ,その熱を利用して,スズプラズマを発生させることにより,EUVを生成させた.本プラズマフォーカス装置は,静電容量1μF,耐圧100kVのコンデンサーを並列に4台接続したコンデンサーバンクを電源としている.プラズマを発生させるために水素を,EUVを発生させるためにSnを用いた.Snは水素プラズマが収束しやすいように半球型に設計・加工し,プラズマフォーカス内部電極の先端に取り付けた.また,放電電流の観測にはロゴスキーコイルを,EUV出力の観測には米国IRD社製のフォトダイオードを用いた検出回路を使用した.その結果,コンデンサー充電エネルギー4.3kJ,コンデンサーの最大放電電流406kA,EUV最大出力7.1mWであり,Snを備えたMather型プラズマフォーカス装置はEUV放射源として有望であることが明らかにされた.
- 2009-10-30
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