ガスパフ付きプラズマフォーカス放電によるEUV発生

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概要

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• 本研究では,プラズマを発生させるために水素ガスを,EUVを発生させるためにXeガスを用いて,水素をあらかじめ装置内に充電し,水素に比べ質量が重いXeを電極後方から電極中心軸上に噴射する「ガスパフ方式」を採用して,プラズマフォーカス放電現象が究明された.その結果より,EUVの発生が確認され,プラズマフォーカス放電電流の第一ピーク後にEUV信号が検出された.これはピンチした水素プラズマによって,Xeがプラズマ化されEUVを発生したことを示している.そして,EUV検出器の量子効率及び検出器の幾何学的な配置をもとに,4.01×10^<15>[個/Sr/s]のEUV光子が発生したと見積もられた.

• 2009-10-30

著者

• 山本 敏和

  福島工業高等専門学校 電気工学科

• 二瓶 元気

  福島高専機械・電気システム工学専攻

• 二瓶 元気

  福島工業高等専門学校専攻科機械・電気システム工学専攻

• 甲高 友則

  福島工業高等専門学校専攻科機械・電気システム工学専攻

• 甲高 友則

  福島高専機械・電気システム工学専攻

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