2-9 同軸マグネトロンスパッタによるZnO薄膜の形成とその応用 : ZnO薄膜SAW長時間遅延線(一般講演)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1980-12-15
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