1-05-03 LiNbO_3, LiTaO_3を用いた単結晶FBARの開発(バルク波デバイス)
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概要
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Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) and Solid Mounted Resonator (SMR) have been proposed for use as a high performance filter. FBAR and SMR consist of an acoustic resonator through use of a thin film deposition process. We use a single crystal LiNbO_3 or LiTaO_3 to achieve a FBAR with wide bandwidth and low loss. The single crystal FBAR is fabricated through the use of single crystal micro process technology, such as a single crystal wafer bonding, polishing, and etching. By optimizing the process conditions, the 1-um-thick LiNbO_3 can be fabricated uniformly in the 3 inches wafer. The resonance property with resonance frequency at 2.12 GHz and bandwidth of 159 MHz can be obtained. Furthermore, through taking advantage of good high frequency resonance characteristics, applications to new ultrasonic devices are expected to be developed.
- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2007-11-14
著者
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