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C-5 直接接合音叉型水晶振動子を用いた角速度センサ(バルク波・表面波デバイス)
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概要
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2005-11-16
著者
岡崎 正喜
日本電波工業
大塚 隆宏
日本電波工業株式会社
井上 孝弘
日本電波工業株式会社
吉松 昌裕
日本電波工業株式会社
松戸 秀亮
日本電波工業株式会社
上原 博
日本電波工業株式会社
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