27pYB-8 Dust & Germ-freeを実現するクリーンユニットシステムの極限高清浄度(27pYB 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長))

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2006-03-04

著者

• 石橋 晃

  北海道大学電子科学研究所

• 海住 英生

  北海道大学電子科学研究所

• 海住 英生

  北大電子研

• 川口 敦吉

  北大電子研

• 石橋 晃

  北大電子研

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