ゼロパワーで位置制御できる反磁性グラファイト板を用いた非接触二次元マイクロ駆動(<特集>第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
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概要
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- 日本AEM学会の論文
- 2009-03-10
著者
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