陽極化成法によるp型シリコンへのマクロポアおよび針状結晶の形成

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概要

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• 2004-12-15

著者

• 御手洗 夕子

  島根大学大学院総合理工学研究科

• 原田 曠嗣

  島根大学大学院総合理工学研究科

• 石丸 寛之

  島根大学総合理工学部

• 石丸 寛之[他]

  島根大学総合理工学部電子制御システム工学科

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