陽極化成法によるp型シリコンのマクロポアおよび針状結晶の形成(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• フッ化水素の水溶旅中でp型シリコンに陽極化成を施すことにより,マクロポア及び針状結晶の形成が可能である.マクロボアの形成メカニズムは電気化学反応モデルで説明できる.針状結晶は,マクロボアの側壁が消滅し,マクロボアによって囲まれた支柱部が残ることにより形成される.また,マクロボアのピッチはシリコンの比抵抗に依存することを示す.陽極化成により形成したマクロポアから作製した微小電極は8V/μm以上で電界電子放出を示すことを確認した.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2004-12-09

著者

• 松本 晋

  パナソニック株式会社

• 森 圭子

  島根大学総合理工学部

• 御手洗 夕子

  島根大学大学院総合理工学研究科

• 原田 曠嗣

  島根大学大学院総合理工学研究科

• 石丸 寛之

  島根大学総合理工学部

• 松本 晋

  島根大学総合理工学部

関連論文

• Porous Low-k膜対応Direct-CMPプロセス開発 (シリコン材料・デバイス)
• Porous Low-k膜対応Direct-CMPプロセス開発(配線・実装技術と関連材料技術)
• 陽極化成法によるp型シリコンのマクロポアおよび針状結晶の形成(シリコン関連材料の作製と評価)
• 28pPSA-38 基板の変形および多孔質構造を利用した磁性ナノジャンクションの作製
• Co/Siにおける新しい機構による磁気抵抗効果
• 陽極化成法によるp型シリコンへのマクロポアおよび針状結晶の形成
• Porous Low-k 膜対応 Direct-CMP プロセス開発
• メタルハードマスクプロセスを用いた32nm以細対応ELK配線技術(配線・実装技術と関連材料技術)

スポンサーリンク