銅フタロシアニン蒸着膜を用いた有機TFTの作製(エレクトログラフィー特集研究会:紙面と画面の境界領域の技術動向)
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概要
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近年,その登場が期待されている電子ペーパーの表示方式の有力候補である電気泳動ディスプレイ(EPD)の表示制御を可能にする薄膜トランジスタ(TFT)の作製を試みた.フレキシブル性は電子ペーパーが持つ理想の形態であるため,制御素子も同様にフレキシブル性が要求される.そこで本研究では絶縁膜にポリマー材料,半導体層には有機化合物の銅フタロシアニン(CuPc)を用いた.EPDの制御素子として機能する特性の獲得のためにCuPcの膜厚の最適化や絶縁層表面の平滑性の向上を図り,EPDセルの制御を成功させた.また,フレキシブルTFTの試作も行った.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-02-20
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