気中テトラエトキシシラン(TEOS)の測定
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
近年,均一で薄いシリコン酸化膜が形成できることから,テトラエトキシシラン(Si(OC_2H_5)_4,TEOS)のVLSI,ULSI半導体製造における使用量が急増し,1992年には1989年の約11倍である22トンが消費された.本報告では,TEOSのガスクロマトグラフによる気中濃度測定法を検討した.共存物質として考慮していかなければならないエタノールとTEOSのピークは,表1の測定条件で十分に分離した.テドラーバッグに0.1〜50ppmのTEOSを調製し測定したところ,良好な直線性があり,許容濃度の100分の1まで測定可能であった.有機溶剤ガス発生装置と動物曝露装置を用いて4ppmのTEOSを発生させ,テドラーバッグおよび真空採気瓶にて直接捕集し,室温あるいは60℃で保存した場合のTEOS濃度の経時変化を検討した結果,180分までの追跡で±5%程度の変動であり,実用上の問題はなかった.同様な条件下で活性炭を用いて固体補集を試みたが,本報のガスクロマトグラフ条件下では良好な結果を得られなかった.本報によるTEOSの測定は使用器械器具,手法等の点で簡便で実用的であるが,固体補集法に対しては不十分であり,新たな測定条件の設定を追究する必要がある.
- 社団法人日本産業衛生学会の論文
- 1994-07-20
著者
-
中島 宏
慶応義塾大学 医学部 衛生学公衆衛生学教室
-
大前 和幸
慶応大学医学部衛生学公衆衛生学
-
中島 宏
慶応大学医学部衛生学公衆衛生学教室
-
石塚 千鶴
慶応大・医・衛生公衛
-
石塚 千鶴
慶応大学医学部衛生学公衆衛生学教室
-
田中 茂
School of Hygienic Sciences, Kitasato University
関連論文
- トリクロロエチレン曝露による種差の検討 : 遺伝子発現プロファイルと病理像の関連性に着目して
- P2095 農作業と運動器所見に関する高齢者時間断面研究(一般演題:ポスター,地方の時代の産業保健,第79回日本産業衛生学会)
- P3064 ジメチルアセトアミド, ジメチルホルムアミド曝露作業者における時間断面研究 2 曝露と健康影響
- ラットの気管内投与によるインジウムリンの生体影響
- トリクロロエチレン曝露時の初代培養肝細胞トランスクリプトームにおけるヒト・マウス・ラットの種差
- 重金属の低濃度複合曝露によるDNA損傷
- I316 Gene Ontologyを用いたげっ歯類のジクロロメタン吸入曝露による遺伝子発現変化の解釈
- I315 ヒトリンパ芽球のN-methyl-N-nitrosourea曝露後の発現プロファイル
- I314 DNAチップを用いたトリクロロエチレンの経口投与による遺伝子発現変化の解析
- H302 インジウムによる呼吸器影響 : 2断面疫学調査による呼吸器影響リスク
- 1.毒性の機序が異なる有機溶剤の遺伝子発現プロファイルの比較 : トリクロロエチレンとジクロロメタン(一般演題)(第32回有機溶剤中毒研究会)
- 日本人非喫煙若年女性ボランティアにおける食事中カドミウムの消化管からの取り込み
- P420 カドミウム曝露が血中グルタチオンおよび尿中8-ヒドロキシグアニンに及ぼす影響
- H106 二硫化炭素曝露による脳MRI所見の変化 : 6年間のコホート研究
- H105 二硫化炭素曝露による心電図・眼底所見等の心血管系指標の変化 : 6年間のコホート研究
- ジメチルホルムアミド曝露者のCYP2E1遺伝子多型による尿中代謝物の生物学的半減期の検討
- 二硫化炭素曝露作業者の眼底所見
- O-562 乳癌組織における酸化的DNA障害の評価
- データマイニングによる糖尿病患者の分類とそれに基づく合併症リスク評価および危険因子の順位付けについて
- 9か月間の二酸化硫黄曝露による三宅島小児住民の呼吸器影響
- 食事習慣と動脈硬化指標に関する時間断面研究
- N-アセチルトランスフェラーゼの遺伝子型出現頻度の国内地域差
- ハロン代替消火剤熱分解産物の毒性-Heptafluoropropaneについて-
- ジメチルアセトアミド蒸気のヒトボランディアでの皮膚吸収に関する検討
- ジメチルアセトアミド蒸気の生物学的モニタリング -採尿時期及び尿中代謝物NMACの補正方法に関する検討-
- 健常男性労働者の頭部MRIによる微小脳梗塞とrisk factor
- ジボランのマウス呼吸器に対する急性・亜急性実験による無影響量
- 二硫化炭素曝露作業者の健康影響 : 3、中枢・末梢神経系、眼底、糖代謝、自覚症状への影響
- 二硫化炭素曝露作業者の健康影響 : 2、循環器系、血管系、脂質代謝への影響
- 二硫化炭素曝露作業者の健康影響 : 1、曝露レベル、内分泌系、血液凝固系、他の生化学検査への影響
- P188 UVA曝露によるヒトリンパ球の遺伝子発現プロファイル
- 歯科技工士におけるメタクリル酸メチルモノマーの健康影響に関する時間断面研究
- Cd及びNi曝露作業者の尿中8-ヒドロキシグアニン
- テトラエトキシシラン亜急性吸入におけるマウス腎への無影響曝露レベル
- 743. ICRマウスにおけるテトラエトキシシラン(TEOS)の亜急性吸入毒性 : 50および100ppm曝露(その他の金属,一般演題,第65回日本産業衛生学会)
- 741. 高濃度シランの吸入毒性(その他の金属,一般演題,第65回日本産業衛生学会)
- 739. マウスに対するボスフィンの急性・亜急性毒性(その他の金属,一般演題,第65回日本産業衛生学会)
- 520 マウスにおけるシランの吸入毒性 : III 2,500〜10,000ppmシラン30分間曝露(ガス,一般演題,第64回日本産業衛生学会・第50回日本産業医協議会)
- 519 マウスにおけるシランの吸入毒性 : II 1000ppmシラン2週間および4週間曝露(ガス,一般演題,第64回日本産業衛生学会・第50回日本産業医協議会)
- 518 マウスにおけるシランの吸入毒性 : I 1000ppmシラン短時間曝露(ガス,一般演題,第64回日本産業衛生学会・第50回日本産業医協議会)
- Tetraethoxysilane(TEOS)腹腔内投与後のマウス臓器の病理組織学的検討
- 727 アセトン曝露の生物学的モニタリング : 2 体内蓄積性の検討(有機溶剤,一般演題,第64回日本産業衛生学会・第50回日本産業医協議会)
- P65 酸化ストレス指標8OHdG値と青年期における生活習慣との関係
- P64 青年期における体重 : 遺伝的素因および生活習慣との関連
- トリクロロエチレン曝露におけるマウス初代培養肝細胞の培養条件の影響の検討
- DNAチップを用いたトリクロロエチレン曝露による遺伝子発現プロファイルの種差
- 防毒マスクだっ着におけるカブレの発現とその対策
- P147 ジメチルホルムアミド曝露の生物学的モニタリング指標としての尿中N-acetyl-S-(N-metylcarbamoyl) cysteineの意義
- P145 ジメチルホルムアミド曝露作業者の健康影響に関する時間断面研究
- 血中δ-アミノレブリン酸の早期鉛影響指標としての有用性
- 728 アセトン曝露の生物学的モニタリング : 3 モニタリング値の経時変化(有機溶剤,一般演題,第64回日本産業衛生学会・第50回日本産業医協議会)
- ジボラン吸入曝露によるマウス精子への影響
- 1.ジボラン吸入曝露によるマウス精子への影響(一般演題,第181回関東地方会例会)
- 気中テトラエトキシシラン(TEOS)の測定
- 1.短時間曝露における量-時間-反応関係と曝露許容限界 : シラン曝露を例として(一般演題,第173回関東地方会例会)
- 738. 半導体製造特殊カス取り扱い作業者の10年間にわたる健康影響(その他の金属,一般演題,第65回日本産業衛生学会)
- 5.半導体工場における曝露管理(一般演題,第175回関東地方会例会)