アンモニアプラズマ窒化による低誘電率(Low-k)層間絶縁膜中への銅イオンドリフト抑制の研究(第9回新潟・山形合宿,地域スクール報告)
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概要
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- 素粒子論グループ 素粒子研究編集部の論文
- 2005-07-20
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