原子価制御したp型半導体((Sm,Ca)CoO_3)とn型半導体(ZnO,Fe_2O_3,WO_3)より作製したヘテロ接合ガスセンサ

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概要

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• Sensor elements of (Sm, Ca)CoO_3/MOx(M=transitiom metal, Zn, Sn, Fe) were made by mechanically two sintered pellets. (Sm, Ca)CoO_3 were prepared by valence control. In these sensor elements, (Sm, Ca)/WO_3 elements showed low sensitivities to ethanol, hydrogengas, benzene, but (Sm, Ca10, 20%)CoO_3/ZnO elements showed high sensitivities at 100, 200℃ to ethanol. And (Sm, Cal0%)CoO_3/ZnO showed high sensitivity to benzene at l00℃.

著者

• 持永 良一

  都城工業高等専門学校

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