高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究
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概要
著者
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野坂 正隆
航空宇宙技術研究所 角田宇宙推進技術研究所
-
鈴木 峰男
航空宇宙技術研究所 宇宙システム研究センター
-
西村 允
航空宇宙技術研究所
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関 勝美
航空宇宙技術研究所
-
野坂 正隆
航空宇宙技術研究所 角田宇宙推進技術研究センター
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