814 スパッタリングを用いたハイドロキシアパタイト薄膜の作製とその評価(GS-2 生体材料,研究発表講演)
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概要
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Hydroxyapatite (HAp) thin films are widely used for biomedical applications, such as orthopaedic and dental devices coatings. Having similar stoichiometry and chemical properties as that of HAp, calcium phosphate thin films have excellent biocompatibility. The chemical characteristics of the thin film affect the reaction with the surrounding tissues. In this study, the calcium phosphate thin film was fabricated by RF magnetron sputter deposition technique at discharge power of 200W, 300W and 400W. The target used for the deposition was sintered HAp. The stoichiometric composition of calcium phosphate thin film prepared was evaluated using Rutherford backscattering spectroscopy (RBS). The chemical state of the elements was characterized using x-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The characteristics of HAp thin films for biomedical applications were discussed.
- 2005-03-18
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