ゴム製アクチュエータを用いた軽量ロボット

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1986-11-05

著者

• 小林 暁峯

  (株)日立製作所

関連論文

• 半導体プロセスにおける流れや熱の問題
• ゴム製アクチュエータを用いた軽量ロボット
• Micro Particle Analyzer for Semiconductor Wafer

スポンサーリンク