超精密加工用空気軸受(<特別編集号>先端技術の将来展望)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1986-11-05

著者

• 田島 琢二

  日立精工(株)

• 石風 武人

  日立精工(株)

関連論文

• 超精密加工用空気軸受(先端技術の将来展望)
• 超精密加工機の運動精度(三次元運動機構)
• 研削盤における空気軸受支持回転軸系の設計

スポンサーリンク