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田島 琢二 | 日立精工(株)
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関連著者
田島 琢二
日立精工(株)
泉 英樹
(株)日立製作所機械研究所
泉 英樹
(株)日立製作所
石風 武人
日立精工(株)
著作論文
超精密加工用空気軸受(先端技術の将来展望)
超精密加工機の運動精度(三次元運動機構)
研削盤における空気軸受支持回転軸系の設計
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