拡散浸透法で形成させた窒化チタン層の結晶性改善法について
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概要
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TiN can be formed by the diffusion infiltration method and the PVD method, etc. As for the formation of the nitride titanium, the diffusion infiltration method is the easiest in various formation methods. However, the diffusion infiltration method cannot form only the TiN layer. We were able to form the TiN layer by combination of the diffusion infiltration method and the PVD method.
- 近畿大学工業高等専門学校の論文
- 2003-12-01
著者
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