新規シリコーン系フレキシブル光導波路の作製とその基本特性(光部品の実装・信頼性,一般)

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概要

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高耐熱性・高透明性・低硬化収縮性を有する光硬化型ナノハイブリッドシリコーン樹脂を用い,直接露光法により、マルチモード光導波路を作成した。高耐熱性の基板上導波路ならびに可とう性に富むフィルム導波路と2種類の導波路を作成した。カットバック法により、伝送波長850nmでそれぞれ0.1dB/cm以下の低損失であることを確認した。それぞれの導波路について、実装時のプロセスを考慮した試験を行い、伝搬損失の変化を測定した。鉛フリーはんだ温度での耐熱試験、耐UV、ヒートサイクルや高温高湿試験等の初期信頼性試験を行い、光損失に大きな変動がないことを確認し、様々な工程に適応できることを示した。
2006-04-14

著者

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