新規シリコーン系光導波路(PART-VIII) : 屈曲が可能な耐熱性ポリマー光導波路の作製とその基本特性(光部品の実装・信頼性,一般)

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概要

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高耐熱性・高透明性・低硬化収縮性を有する光硬化型ナノハイブリッドシリコーン樹脂を用い、直接露光法により、マルチモード光導波路を作成した。得られたフィルム光導波路は可とう性に富み、光伝播損失はカットバック法により、伝送波長850nmで0.1dB/cm程度の低損失であることを確認した。45度ミラーを用いた直角光路変換導波路で接続損失を含むミラー損失は1.1dB程度と低損失であった。また、4種類のコアとクラッドの屈折率差の異なる光導波路を作製し、それぞれ90度の屈曲に対する損失変化量を測定した所、屈折率差が2.8%のとき、1mmの屈曲半径に対しても増加量が0.2dBと非常に小さい値を示した。
2007-04-13

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