4インチ・ウエハプロセスによるDVD記録装置用高出力レーザ(光部品の実装・信頼性,一般)

概要

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今回我々は,4インチウエハ量産プロセスによる650nm帯単一横モード高出力レーザの作製に世界で初めて成功した.4インチ化において,4インチ導電性GaAs基板の結晶品質がレーザ特性に大きく影響することを確認した.また,電子デバイスで実績のあるプロセスを適用することにより,高精度かつ面内高均一なウエハプロセスを確立し,高いスループットでの高出力且つ高信頼度なレーザの製造を実現した.作製したレーザ素子は,4インチウエハ面内での分布(±σ)はしきい値Ithで±2.3%,効率ηで±1.1%に抑えられている.350mW以上の高光出力は,600mA以下の駆動電流値で実現されており,80℃の高温においてもキンクフリーで良好な光出力特性を示している.また,リッジ形状の最適化および素子抵抗の低減によって,350mWにおける駆動電圧を3.0V程度に抑え,低消費電力なレーザを実現した.本レーザは,2層DVD±R/RWディスクへの8倍速以上の記録型DVD装置に適用可能と考えられる.
社団法人電子情報通信学会の論文
2006-04-14