NO_2ガスセンサーの作製
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概要
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A thin-film NO_2 sensorhas been fabricated by the vacuum-deposition of SnO_2 onto an alumina substrate. The gas detection is based on monitoring the sensor resistance change caused by NO_2 chemisorption on the sensor surface. The sensor sensitivity was measured by usig the calibration chamber prepared in this experiment. It shows the best value when the senso film is the most porous.
- 岐阜工業高等専門学校の論文
- 2000-03-01
著者
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