拡散に於ける不純物の表面濃度と蒸気圧(II)(半導体(拡散,エピタキシー)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1963-10-13

著者

• 林 宏

  日本電気株式会社

• 森口 嘉郎

  日本電気株式会社

• 横山 康文

  日本電気株式会社

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