511 サーマルプローブを用いたイオン温度計測の新しいアプローチ(GS-6 液滴・計測)
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概要
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Plasma is generally in the non-thermal equibilium, and its components, ion and electron, have different temperatures. Though Langmuir probe method is widely used to measure electorn temperature, ion temperature is difficult to deduce with it. In this paper, we propose the thermal probe as a new tool for ion temperature measurement. Firstly the effect of finite ion temperature onto analytical heat flux formula in the sheath theory. Then the procedure to deduce the ion temperature from heat flux data is presented. Finally we make a prototype of the thermal probe and test it with the glow discharge plasma.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-03-17
著者
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