29pA01P ターゲット板前面のシース構造に及ぼす二次電子の影響(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2002-11-20
著者
-
松浦 寛人
阪府大工
-
松浦 寛人
大阪府立大
-
井口 智史
大阪府立大学大学院工学研究科
-
井口 智史
大阪府大工
-
道本 圭司
阪府大
-
中田 真吾
大阪府立大工
-
道本 圭司
大阪府立大工
-
辻 孝政
大阪府立大工
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