シリコンウエハーの切断・研磨粉など混合物の有効利用に関する基礎研究
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We have studied the effective utilization of abrasive powder (mainly, SiC and Si) being produced by the cutting and grinding of silicon wafers in the semiconductor industry to a deoxygenation agent. Because the abrasive powder contained a large quantity of oil and water, the mixture was incinerated in rotary kiln and the powder containing SiC and Si was captured by cyclone dust collector. It was found that the powder was effective for a deoxygenation agent of molten steel as well as conventional reagents (Al, Fe-Si or Si-Mn).
- 近畿大学の論文
- 2004-03-01
著者
関連論文
- 都市ごみ焼却灰・飛灰等の基礎性状と無公害化処理に関する研究(2)
- Ca_Eu_xAl_O_の合成と物性
- メカニカルアロイングによる貴金属(Pd, Pt)とM(ZrあるいはAl)との混合粉末の非晶質化
- メカニカルアロイング法により調整したReとSiとの合金粉末の電気的特性
- メカニカルアロイングによるPdとSiとの混合粉末からのPd珪化物の生成
- 塩酸処理により脱アルミニウムしたモルデナイトの酸特性
- メカニカルアロイングによるSiとCoとの混合粉末の非晶質化
- ^Snのメスバウアー効果を用いたYBCOの格子振動のソフト化とTcとの相関
- 廃石膏ボードから回収した石膏の有効利用に関する基礎的研究
- シリコンウエハーの切断・研磨粉など混合物の有効利用に関する基礎研究
- 加圧流動床燃焼石炭灰の建設汚泥固化剤への有効利用に関する研究
- 都市ゴミ焼却炉飛灰および、溶融炉飛灰からの重金属溶出防止に関する基礎研究(2)
- 都市ごみ焼却灰・飛灰などを溶融処理したスラグの再資源化に関する基礎研究(5)
- メカニカルアロイング法によるSiと希土類金属との混合粉末の非晶質化
- 都市ごみ・シュレッダーダスト焼却灰、飛灰、電気炉ダストの無公害化処理に関する基礎研究(4)
- アルミドロスの廃水処理剤としての利用に関する基礎的研究
- 都市ごみ焼却灰、シュレッダーダスト焼却灰および電気炉ダストなどの無公害処理に関する基礎研究(3)
- シュレッダーダスト焼却灰の無公害化処理に関する基礎研究(1)
- Cu^+イオンを含む希土類元素複酸化物の蛍光特性
- CaO-Al_2O_3-Ln_2O_3(Ln:Y, Gd, Nd)系の導電特性
- メカニカルアロイングによるSiとCoとの混合粉末の非晶質化