各種SAWデバイスにおける弾性表面波振動分布の光学的観測
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概要
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弾性表面波素子内の振動分布の光学的測定はその動作を理解する上や特性改善を考える上で重要である。筆者はヘテロダイン干渉計法を用いて、一方向性フィルタ、Zパスフィルタ、斜め電極指フィルタの3種類の弾性表面波フィルタ内の弾性表面波の2次元振動分布を測定し、興味ある振動分布を得た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-02-19
著者
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