弾性表面波デバイスの表面波回折効果の光学測定結果と数値解析結果との比較
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概要
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128° Y-X LiNbO3基板上の一様電極からの表面波の回折効果の光学測定結果とY-Z LiNbO3基板上の分散形遅延線のchirp IDTからの表面波の回折効果の光学測定結果を,パラボリック異方性近似によるフレネル積分を用いたシミュレーション結果と比較した.その結果,Kovacs等または櫛引等の材料定数より求めた異方性パラメータを用いると実験結果とよく一致し,また分散形遅延線のchirp IDTからの左右非対称の表面波ビームの回折現象もよく説明できることが判った.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-11-22
著者
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