Scanチェーンを活用した故障部位特定手法とその解析事例(半導体表面・界面制御と電子デバイスの信頼性, 信頼性一般)

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概要

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ロジック回路の故障に対し、LSIテスタと解析ソフトウェアを組み合わせて被疑故障ノードを抽出する故障診断システムが広く用いられている。このシステムはScanチェーンを利用して組み合わせ回路を診断するものである。一方、Scanチェーンが正常動作しない不良品に対しては、従来は十分な取り組みがされていなかった。本稿では、このような不良品の故障部位を特定するため2つのアプローチを取り上げる。一つは、FFの初期値を利用して故障FFを絞りこむScanチェーン診断を発展させたものである。もう一つは、電源電圧に依存した不具合をもつ不良品に対して有効な電圧シフト法である。それぞれ手法について解析事例により有用性を確認できたため、その内容を報告する。
2005-11-18

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