2.2CMOS LSIにおける結晶欠陥モードの解析と対策(セッション2「故障解析2」)(日本信頼性学会第11回研究発表会報告)

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概要

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• 日本信頼性学会の論文
• 2003-07-25

著者

• 杉原 豊

  富士通株式会社会津若松工場デバイス技術部

• 桑島 敦

  富士通(株)

• 杉原 豊

  富士通(株)

• 中村 実也

  富士通(株)

• 伊藤 誠吾

  富士通VLSI(株)

• 桑島 敦

  富士通株式会社会津若松工場デバイス技術部

• 中村 実也

  富士通株式会社会津若松工場デバイス技術部

• 伊藤 誠吾

  富士通

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