A Nondestructive Method for Measuring the Spatial Distribution of Minority Carrier Lifetime in Silicon Wafer

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人応用物理学会の論文
• 1979-11-05

著者

• Mada Yoichi

  Musashino Electrical Communication Laboratory Nippon Telegraph And Telephone Public Corporation

関連論文

• Defect Eliminating Method Using Si_3N_4 Film Patterns
• A Nondestructive Method for Measuring the Spatial Distribution of Minority Carrier Lifetime in Silicon Wafer

スポンサーリンク