Microlithography Resists Containing Poly(1,1-dimethylsilazane) : Resist Material and Process

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1989-12-30

著者

• Hiraoka Hiroyuki

  Ibm Almaden Reseatch Center

• LADABAUM Uri

  IBM Almaden Reseatch Center

• Hiraoka Hiroyuki

  IBM Almaden Research Center, 650 Harry Road, San Jose, CA 95120-6099, USA

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