Hiraoka Hiroyuki | IBM Almaden Research Center, 650 Harry Road, San Jose, CA 95120-6099, USA

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概要

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• IBM Almaden Research Center, 650 Harry Road, San Jose, CA 95120-6099, USAの論文著者

関連著者

• Hiraoka Hiroyuki

  Ibm Almaden Reseatch Center

• LADABAUM Uri

  IBM Almaden Reseatch Center

• Hiraoka Hiroyuki

  IBM Almaden Research Center, 650 Harry Road, San Jose, CA 95120-6099, USA

著作論文

• Microlithography Resists Containing Poly(1,1-dimethylsilazane) : Resist Material and Process

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