Dominant Overall Chemical Reaction in a Chlorine Trifluoride-Silicon-Nitrogen System at Atmospheric Pressure

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1999-11-15

著者

• Otsuka Toru

  Isobe R&d Center Shin-etsu Handotai Co. Ltd.

• Qu Wei-feng

  Isobe R&d Center Shin-etsu Handotai Co. Ltd.

• Habuka Hitoshi

  Isobe R&d Center Shin-etsu Handotai Co. Ltd.

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