Bi-Surface Photoconductivity Decay Analysis for Polysilicon Back Sealed Wafers with Thermal Process Induced Contamination

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人応用物理学会の論文
• 1998-12-15

著者

• Daio Hiroshi

  Silicon R & D Center Showa Denko K.k.

• Ogita Yoichiro

  Kanagawa Institute Of Technology

• UEMATSU Yugo

  Kanagawa Institute of Technolog

関連論文

• A New Method for the Precise Measurement of Wafer Roll off of Silicon Polished Wafer
• Bi-Surface Photoconductivity Decay Analysis for Polysilicon Back Sealed Wafers with Thermal Process Induced Contamination

スポンサーリンク