Accurate Measurement of Layer Thickness Using Optical Reflective Spectra of Bragg Mirrors Grown by Molecular Beam Epitaxy
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1993-10-15
著者
-
Toyoda Takashi
Department Of Electrical Engineering Kyoto University
-
Toyoda Takashi
Semiconductor Research Laboratory Mitsubishi Electric Corporations
-
Ohta J
Univ. Tokyo Tokyo Jpn
-
OHTA Jun
Semiconductor Research Laboratory, Mitsubishi Electric Corporations
-
KYUMA Kazuo
Semiconductor Research Laboratory, Mitsubishi Electric Corporations
-
MITSUNAGA Kazumasa
Semiconductor Research Laboratory, Mitsubishi Electric Corporation
-
Kyuma K
Mitsubishi Electric Corp. Kanagawa Jpn
-
Kyuma Kazuo
Central Reseach Laboratory Mitsubishi Electric Corporation
-
Kyuma Kazuo
Semiconductor Research Laboratory Mitsubishi Electric Corporation
-
Toyoda T
Univ. Electro‐communications Tokyo Jpn
-
Toyoda Takeshi
Materials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
Mitsunaga Kazumasa
Semiconductor Research Laboratory Mitsubishi Electric Corporation
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